17 tháng 4 năm 2023
Chúng tôi đã trưng bày một robot để vận chuyển chất bán dẫn tại Semicon Japan 2022 Trong thị trường bán dẫn, để tăng tích hợp bóng bán dẫn và đạt được hiệu suất và chức năng cao, quy trình sản xuất trong quá trình trước đó đã được tinh chỉnh và app tài xỉu chất bán dẫn đơn hàng nano hiện đang được sản xuất Trong những năm gần đây, những cải tiến hơn nữa trong công nghệ đóng gói hậu kỳ đã giúp cải thiện hiệu suất và chức năng
app tài xỉuo thời điểm này, công ty của chúng tôi đã trưng bày Semistar-Gekko MD124D, một robot sạch để vận chuyển wafer bán dẫn hiện đang được mở rộng, semistar-mu113D, một robot sạch sẽ được phát triển Vận chuyển chất nền hiện đang được phát triển và σ-X, một ổ đĩa servo AC được sử dụng để điều khiển các máy liên kết dây và các thiết bị khác, đang được sử dụng để điều khiển các hệ thống liên kết dây Chúng tôi sẽ giới thiệu các tính năng của mỗi robot
Trong quá trình tạo ra một chất bán dẫn, chip bán dẫn thường được sản xuất thông qua app tài xỉu quy trình sản xuất wafer như trong Hình 1, app tài xỉu quy trình trước để tạo thành lớp bóng bán dẫn trên wafer và sau khi xử lý cắt wafer thành chip và đóng gói
Hình 1: Quy trình sản xuất bán dẫn và nhu cầu cho công ty của chúng tôi
Hình 2 Quy trình đóng gói nâng cao
Trong app tài xỉu quy trình này, đặc biệt là trong app tài xỉu quy trình trước đó, có app tài xỉu yêu cầu như độ chính xác cao và không có thiệt hại cho wafer trong môi trường sạch cuối cùng và muốn ngăn thiết bị dừng
Gần đây, công nghệ đóng gói mới nhất (công nghệ đóng gói nâng cao) đã được tập trung app tài xỉuo, và quy trình đóng gói tiên tiến (Hình 2) đạt được sự tích hợp cao và chức năng của các chất bán dẫn cũng đã thu hút sự chú ý trong Semicon Japan 2022
Hình 3 Semistar-gekko MD124D
Trong quá trình trước đó, để đạt được độ sạch cuối cùng, độ chính xác cao và độ rung thấp, semistar-gekko md124D, một robot sạch để vận chuyển app tài xỉu máy bay bán dẫn, điều khiển bằng động cơ lái xe 3
Lần này, chúng tôi đã giới thiệu app tài xỉu sản phẩm của chúng tôi với nhiều khách hàng tại Semicon Japan 2022, có tính đến thành tích của chúng tôi trên thị trường và sự sẵn có của robot để sản xuất hàng loạt và cung cấp cho họ
*1Bằng cách này, nó không tạo ra bất kỳ chất thải nào, làm giảm đáng kể độ rung từ cánh tay đến bộ tác động cuối và đạt được tính năng chính xác cao của ổ đĩa trực tiếp
(để biết chi tiết, vui lòng xemtải game tài xỉu 2021 No.1 Nhận ra chuyển động chính xác mà không có rungNhìn thấy)
Hình 4: So sánh độ chính xác với app tài xỉu mô hình trước đó
Điều này cho phép tay cầm thụ động thông lượng cao để cải thiện năng suất bằng cách chuyển app tài xỉu tấm wafer, chuyển tấm wafer sang app tài xỉu khe cắm hẹp và vận chuyển tấm wafer đến app tài xỉu tấm wafer có độ chính xác cao Để tham khảo, Hình 4 cho thấy sự so sánh độ chính xác với app tài xỉu mô hình trước đó
Semicon Nhật Bản 2022 đã chứng minh tính năng rung thấp của Semistar-Gekko MD124D để vận chuyển hai tấm wafer cùng một lúc, điều này rất khó khăn cho đến bây giờ
chất bán dẫn đang thay đổi từ nano sang angstrom
Một giải pháp có thể đóng góp cho thị trường này là robot ổ đĩa trực tiếp Công ty chúng tôi sẽ đáp ứng nhu cầu của khách hàng bằng cách đề xuất và thực hiện app tài xỉu giải pháp có thể giải quyết app tài xỉu vấn đề cùng với khách hàng của chúng tôi bằng cách giới thiệu app tài xỉu sản phẩm từ lộ trình công nghệ bán dẫn
Hình 5 Semistar-Mu113D
Trong quy trình bao bì nâng cao, kích thước tăng của bảng để gắn mật độ cao là chìa khóa để cải thiện năng suất Công ty chúng tôi đã phát triển một robot vận tải đáp ứng nhu cầu này (Hình 5)
Semistar-Mu113D duy trì app tài xỉu tính năng của robot vận chuyển wafer bán dẫn, chẳng hạn như dấu chân nhỏ và vận chuyển tốc độ cao và độ chính xác cao, nhưng đạt được tải trọng tối đa 13 kg, giúp vận chuyển app tài xỉu gói gắn kết mật độ cao hơn
Ngoài công nghệ vận chuyển wafer, chúng tôi cũng đã áp dụng công nghệ vận chuyển tinh thể lỏng đã được chứng minh để phát triển công nghệ vận chuyển không yêu cầu thay thế một phần hoặc chuyển đổi hoạt động, chỉ sử dụng một robot sử dụng chất nền với độ dày khác nhau (độ dày = khoảng 0,2-3,0 mm)
Semicon Nhật Bản 2022 đã trình diễn vận chuyển một bảng vuông 510mm Hơn nữa, robot này đang trải qua các đánh giá thị trường và các biện pháp khác với mục đích thương mại hóa nó app tài xỉuo năm 2023
Bao bì được nhấn mạnh như một hướng đi mới để cải thiện chức năng trong chất bán dẫn, đã được tiến hành theo luật của Moore Để đáp ứng với sự phát triển của công nghệ bao bì, chúng tôi cung cấp công nghệ động cơ "quay và dừng" như app tài xỉu bộ phận cơ học và robot, và chúng tôi sẽ hỗ trợ sự phát triển của chất bán dẫn, không thể thiếu đối với khách hàng của chúng tôi, với tất cả công nghệ Yaskawa
Hình 6 Ví dụ về bảo trì phòng ngừa thông qua trực quan
Trong bộ xử lý sau, app tài xỉu bộ liên kết dây và app tài xỉu thiết bị khác được điều khiển bởi một động cơ servo AC Bằng cách áp dụng ổ AC servo của chúng tôi, động cơ servo trở thành cảm biến, cho phép bạn thu thập, trực quan hóa và phân tích app tài xỉu dữ liệu khác nhau như rung động cơ học và điều kiện tải Ví dụ, servo phát hiện app tài xỉu thay đổi phút như hao mòn và suy giảm cơ chế của ổ đĩa của thiết bị và trực quan kỹ thuật số app tài xỉu thay đổi thiết bị chưa được chú ý trước đây Hình 6 cho thấy một ví dụ đã được sử dụng để bảo trì phòng ngừa
Semicon Nhật Bản 2022 đã trình diễn ba cơ chế: cơ chế bánh răng, cơ chế vít bóng và cơ chế CAM
*1 Bộ giảm tốc và dây đai bị bãi bỏ, và động cơ điều khiển cánh tay trực tiếp
không bao gồm phần tay
Lần này, chúng tôi đã giới thiệu app tài xỉu ví dụ về app tài xỉu hệ thống cho phép thiết bị sản xuất hiệu suất cao bằng cách trực quan hóa dữ liệu bằng cách sử dụng trực quan hóa dữ liệu bằng cách sử dụng ổ đĩa AC servo σ-X
Robot băng tải của chúng tôi tương thích với app tài xỉu quy trình xử lý trước và sau phát triển, và góp phần cải thiện năng suất với vận chuyển cao và tốc độ cao Hơn nữa, bằng cách trực quan hóa app tài xỉu thay đổi của thiết bị với AC Servo Drive σ-X, nó có thể được sử dụng để bảo trì phòng ngừa và app tài xỉu mục đích khác, cải thiện năng suất
Dự kiến thị trường bán dẫn sẽ tiếp tục mở rộng trong tương lai do chuyển đổi liên lạc 5G, EV của ô tô, IoT của tất cả app tài xỉu sản phẩm và trung tâm dữ liệu lớn Để đáp ứng sự tăng trưởng này trong thị trường bán dẫn, chúng tôi hy vọng thị trường robot bán dẫn sẽ tiếp tục thay đổi và phát triển trong tương lai
Chúng tôi sẽ tận dụng tối đa khả năng sản phẩm và kỹ thuật của mình để cung cấp app tài xỉu giải pháp để đáp ứng nhu cầu của khách hàng và app tài xỉu vấn đề chúng tôi gặp phải trong thị trường bán dẫn